（1）窒息
MBE外延设备要在超高真空条件下工作，需要使用氮气源吹扫置换；喷射炉的炉口需使用液氮进行屏蔽。在现场设置氮气/液氮钢瓶或者通过管道输送氮气/液氮，如果氮气瓶安全附件不齐全或有缺陷，氮气/液氮管道的阀门、零件等腐蚀或存在缺陷，可能发生气瓶或管道的泄漏，如果作业场所通风不良，人员防护不当，会引发人员窒息事故。
（2）灼烫
MBE外延设备喷射炉的炉口需使用液氮进行屏蔽，在现场设置液氮钢瓶或者通过管道输送液氮，如果液氮钢瓶/液氮管道的阀门、零件等腐蚀或存在缺陷，可能发生气瓶或管道的泄漏，人员防护不当，发生低温灼烫事故。
MBE外延设备属于高温设备，如果设备本身未采取防护隔离措施，人员防护不当，可能发生灼烫事故。
（3）爆炸（含容器爆炸）
该工艺需使用冷却水进行设备保冷，如果冷却水供应不足，在高温下，可能发生设备爆炸。氮气源使用气瓶的情况下，气瓶安全附件不齐全、气瓶本体有缺陷、未设防倒设施等情况，可能造成气瓶爆炸。
（4）触电
直接接触裸露带电零件或在故障条件下变为带电的零件，尤其是绝缘失效而导致的带电零件，可能造成的电击、电灼伤等危险。
