成膜系统

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晶圆分子束外延系统(Wafer MBE)
产品详情

       晶圆分子束外延所使用的样品为 2-4 英寸晶圆。为了保证成膜的均匀性,在 生长过程中样品可连续旋转。加热器均匀性的要求也相对比较高。这种 MBE 主 要用于对样品尺寸有一定要求的,面向工业应用的生产和研发。image 样品连续旋转,蒸镀均匀;  操作方便,可快速学会使用;  可靠性好,能保证长时间稳定工作;  配件、材料选择考究保证极低的本底真空。imageimage