成膜系统

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简易分子束外延生长系统
产品详情

       简单经济的小型 MBE 设备,针对对本底真空需求不高的应用场景,可以快 速的进出样品。适合分子蒸镀和简单的热蒸发。和热蒸发设备相比,其具有薄膜 厚度控制更精确,蒸发源温度对衬底影响低,实验重复性好等特点。设备所有技 术兼容超高真空需求,后期可以方便升级至超高真空 MBE 系统。imageimage