成膜系统

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冷壁化学气相沉积系统(Cold-wall CVD)
产品详情

       冷壁 CVD 生长设备是常州国成新材料科技有限公司针对现有石英管式炉 CVD 生长设备功耗大、控制性差、产量低等缺点开发出来的一款新型 CVD 生长 设备。该设备不仅可以用于石墨烯生长,还可用于六角氮化硼等二维材料薄膜、 MBE 薄膜及复合薄膜生长。imageimageimageimage


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