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真空计校准装置采用动态相对法真空标准装置。
本底压力不超过静态校准范围下限的1%。
极限真空度：≤ 9×10-9 Pa。
可烘烤温度： 150 ℃。
烘烤前2小时内高真空腔室真空度达到10-5 Pa，检漏仪检测漏率≤ 10-10 Pa·L/s。
烘烤24小时后，极限真空度可达10-8 Pa。
相对误差：
校准范围 | 准确度/不确定度 | 压力稳定性能 |
1×10-1Pa～133.32kPa | （0.15～5）% ,k=2 | < 1 %/min |
1×10-1Pa～1×10-6Pa | U=8 %, k=2 | < 0.5 %/min |
符合国家计量标准JJG729-1991《二等标准动态相对法真空装置检定规程》
符合国家计量校准规范JJF 1062-1999《电离真空计》
符合国家计量校准规范JJF 1050-1996《工作用热传导真空计校准规范》
符合国家计量标准JJG 932-1998《压阻真空计检定规程》
符合国家计量标准JJG 462-2004《二等标准电离真空计》
