● 质量流量可控混合
● 压强控制
● 在小流量下快速响应(~秒)
● 无死体积
● 小内部体积
● 洗气,脉冲式进气.
● 小流量下极端混合比例
● 安全
高压反应实验平台(High Pressure Stages)
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