真空转移腔(UHV Transfer Suitcase)

●用于超高真空系统之间,甚至研究机构之间样品的转移

●腔体内为超高真空系统,保证样品的清洁

●利用离子泵或者吸气剂泵保持真空

●可在无电源的情况下保持真空数小时

●定制样品传送机构

● 总体兼容超高真空环境,烘烤温度130°C

●本底真空2 x 10-10 mbar


真空转移腔(UHV Transfer Suitcase)