针对超高真空互联应用领域进行专业设计;
自动化程度高:可实现全自动控制样品传送;
位置重复性好:位置重复误差小于0.2mm;
传样机械臂在腔体内可360°旋转;
整体耐高温:工作温度大于150℃;
圆形样品传样腔
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