针对超高真空互联应用领域进行专业设计;

自动化程度高:可实现全自动控制样品传送;

位置重复性好:位置重复误差小于0.2mm

传样机械臂在腔体内可360°旋转;

整体耐高温:工作温度大于150℃



圆形样品传样腔