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有机蒸发源,用于蒸镀有机样品,温度范围从25°C到500°C,加热元件为MCH高温陶瓷加热器加热温度均匀,即使在坩埚边缘也具有较高的加热效率。所有蒸发源在出厂前均经过温度测试和除气处理。
脉冲激光分子束沉积系统是高能脉冲(100ns) 电子束( 约1000 A,15 keV) 在靶材上穿透将近1 um,使靶材快速蒸发形成等离子体。对靶材的非平衡提取(烧灼)使等离子体的组成与靶材的化学计量组成一致。在条件下,靶材的化学计量与沉积薄膜的保持一致。所有的固态材料如金属、半导体和绝缘体等
原理分子束外延的英文缩写为MBE,这是一种在晶体基片上生长高质量的晶体薄膜的新技术。在超高真空条件下,由装有各种所需组分的炉子加热而产生的蒸气,经小孔准直后形成的分子束或原子束,直接喷射到适当温度的单晶基片上,同时控制分子束对衬底扫描,就可使分子或原子按晶体排列一层层地“长”在基片上形成薄膜。特点(
分子束外延的英文缩写为MBE,这是一种在晶体基片上生长高质量的晶体薄膜的新技术。在超高真空条件下,由装有各种所需组分的炉子加热而产生的蒸气,经小孔准直后形成的分子束或原子束,直接喷射到适当温度的单晶基片上,同时控制分子束对衬底扫描,就可使分子或原