蒸发镀膜涉及到的相变固-气相变：即升华。在这一过程中，源材料从固态直接转变为气态，而不经历液态。这需要足够的能量的才能发生的，一般用加热的方式可以实现。气-固相变：即冷凝，升华的逆过程。当蒸发出的气态物质遇到冷却的衬底时，它们会凝结在其上，形成固态的薄膜。这是一个从气态到固态的相变过程。
什么是蒸汽压？固态或液态均有蒸汽压，本文只讨论固态的蒸汽压。微观上来说，当某固体在密闭容器中蒸发成气体时，分子无法逃逸。一些气体分子终会撞击凝聚相并凝结回其中。当气体的冷凝速率变得等于固体的蒸发速率时，气体，固体的量不再改变。容器中的气体与固体处于平衡状态。此时的气态的压力就叫做蒸汽压。
宏观来说，蒸汽压描述了一个物质在特定的温度下转变为气态的能力。一个物质的蒸汽压越高，它们的分子更容易摆脱分子间吸引力而进入气相，意味着它在较低的温度下就更容易蒸发。蒸发镀膜与蒸汽压的关系对于蒸发过程，材料应该在可实现的加热范围内具有足够的蒸汽压，使得它能够蒸发并在衬底上形成均匀的薄膜。蒸汽压应该足够高，以便在合理的时间内完成蒸发过程。但是也不能太高，以免造成蒸发速率过快难以控制。
