电阻加热蒸发源
优点：
1.结构简单、使用方便、造价低廉，因此使用普遍；
2.可蒸发蒸发温度小于1500℃的铝、金、银等金属，蒸发一些硫化物、氟化物和某些氧化物。
要求：
1.蒸发源材料的自身熔点要高；
2.饱和蒸汽压要低；
3.化学性能要稳定，且具有良好的耐热性，热源变化时，功率密度变化较小；
4.蒸发源对膜材料的"湿润性"好。
电子束加热蒸发源
优点：
1.与电阻加热源相比可以减少污染；
2.能量集中，使膜料局部表面受到很高的温度，而其它部分的温度低。因此，可使高熔点(可以高达3000℃)的材料蒸发，且有较高的蒸发速率；
3.可以准确、方便地控制蒸发温度；
4.有较大的温度调节范围，对高、低熔点的膜料都适用，适用性宽，特别适合蒸镀熔点高达2000℃左右的氧化物；
缺点：
1.通常蒸镀的膜层较薄；
2.蒸镀的薄膜组分复杂。
激光蒸发源
优点：
1.能蒸发任何高熔点材料,可以蒸发各种材料，且获得很高的蒸发速率；
2.与电阻加热蒸发源相比可以减少镀膜受污染；
3.非常适合于蒸发化合物或合金；
4.与电子束蒸发源相比，它避免了电子束蒸发膜面带电的缺点。
缺点：
1.长时间工作，激光进入钟罩窗口处的透镜会受到影响；
2.激光蒸发器比较昂贵，且并非对所有材料都显示其优越性；
3.由于蒸发材料温度太高，蒸发粒子(原子、分子、簇团等)多易离子化，从而会对膜结构和特性产生一定影响。
高频感应蒸发源
优点：
1它是面蒸发，蒸发速率大，可以比电阻蒸发源大10倍左右；
2蒸发源的温度混匀稳定，不易产生飞溅现象；
3蒸发源一次装料，无需送料机构，温度控制较容易，操作比较简单。
缺点：
1.因为接触易造成污染
2.只能蒸发导电的膜料
3.设备必须屏蔽，且需要复杂和昂贵的高频发生器。
