掩膜板分子束外延系统是在超高真空MBE技术上增加了原位的掩膜板更换系统。可以在样品制备前加装和更换掩膜板，以实现样品表面薄膜的图形化。掩膜板的安装和更换兼容mbe原有的快速进样室和传样机构。样品和掩膜板之间的距离连续可调。的机构保证样品盒掩膜板之间的平行。

掩膜板分子束外延系统（Mask MBE）